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产品展示--三氯化硼

product

三氯化硼

三氯化硼 BCl3)

 

项目名称

纯度指标(%

三氯化硼

≥99.999

≥99.9

杂质含量(ppm)

氧气(O2

≤1

-

氮气(N2

≤4

-

二氧化碳(CO2

≤2

-

甲烷(CH4

≤0.5

-

一氧化碳(CO

≤0.5

-

四氯化硅(SiCl4)

-

≤300

氯气(Cl2)

-

≤10

其他(Others)

-

≤500

包装:采用44L、47L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到4-10L的气瓶中。 

 

用途:

1、高纯三氯化硼主要用于(硅)半导体器件制造工艺中的扩散掺杂(在高温下,经过分解生成硼杂质向硅中扩散,形成P型半导体)、离子注入(作为离子注入源,高能量作用下使硼原子离子化,产生硼离子束并注入硅形成P型浅结)、干法蚀刻(用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蚀刻)等过程;

2、可作为许多有机反应中的优良催化剂及医药工业的中间体。

 

理化性质

无色发烟液体或气体(有毒、不燃),有强烈刺激性、酸性气味,易潮解,在潮湿的空气中可产生浓密白烟,在水中分解为盐酸和硼酸,在醇中分解为盐酸和硼酸酯, 如作溶媒, 不能使盐与强酸产生离子作用。

 

注意事项:

1、严加密闭,操作场所应提供充分的局部排风和全面通风,并配备应急处理设备。操作人员须经过安全培训,严格遵守操作规程。建议操作人员带防毒面具,戴橡胶手套,并防止气体泄漏到工作场的空气中,避免与水接触。搬运时要轻拿轻放或用合适的手推车来移动钢瓶,一定不要拉,滚动,滑动或放倒钢瓶,不要试图抓住气瓶的盖来拎起它。气瓶在使用的全过程中为固定状态,用一个独立的控制阀安全地从气瓶内释放气体。一旦钢瓶接好,应仔细,缓慢的打开阀门。如果使用者在操作气瓶阀时有困难,需停止使用,并与供应商联系。 不可将工具(如:扳手,螺丝刀,等)插入钢瓶盖内。否则会损坏阀门并引起泄漏。 使用可调节的扳手来打开过紧或生锈的钢瓶盖。不要用明火或其他临近的热源加热钢瓶的任何部分。碳钢、普通不锈钢、Monel蒙乃尔合金(Ni-Fe-Cu)及铜可以在没有潮气的情况下使用。Ni-Mo-Cr及Ni-Ti-Cr合金(13.2-32%Ni合金)、铂及金有很好的抗腐蚀性,可以在有潮气的情况下使用。Kel-F或Teflon(聚四氟乙烯)、PVC(聚氯乙烯)可以作为垫圈材料。

2、储存于阴凉与通风的安全库房。远离火种、热源,库温最好保持在35℃以下(最高存储温度不可高于52℃)。钢瓶应直立摆放,保持容器(阀门)密封完好并安装钢瓶盖。应与其它化学品分开存放,储区应备有泄漏应急处理设备。