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产品展示--六氟化钨

product

六氟化钨

六氟化钨 WF6)

 

项目名称

纯度指标(%

六氟化钨

≥99.999

杂质含量(ppm)

二氧化碳(CO2

≤0.5

氮气(N2

≤1

氧气+氩气(O2+Ar

≤0.5

一氧化碳(CO)

≤0.5

四氟化碳(CF4

≤0.5

三氟化氮(NF3

≤0.5

四氟化硅 (SiF4)

≤0.5

氟化氢(HF

≤5

金属离子(Metals)

≤1.5

包装:采用40L、44L钢瓶充装,也可根据客户需要,分装到4-10L的气瓶中。 

 

用途:在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料,特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。通过混合金属的CVD工艺制得钨和铼的复合涂层,可用于X-射线的发射电极。此外,WF6在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。

 

理化性质: 能与许多物质发生化学反应,遇潮湿、空气或水分解,散发剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。腐蚀性很强,能侵蚀几乎所有的金属,能迅速腐蚀湿的玻璃。

 

注意事项:

一、泄漏应急处理:迅速撤离泄漏污染区人员至安全区,禁止无关人员进入污染区,应急处理人员戴正压自给式呼吸器,穿厂商特别推荐的化学防护服(完全隔离)。在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散),但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。勿使水进入包装容器内,抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用,且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。

二、防护措施:

1、呼吸系统防护:可能接触毒物时,必须佩戴防毒面具。

2、眼睛防护:戴安全防护眼镜。

3、身体防护:穿胶布防毒服。

4、手防护:戴防化学品手套。

三、急救措施

1、皮肤接触:脱去污染的衣着,用流动清水冲洗。在灼伤处涂敷氧化镁甘油软膏或稀氨水。就医。

2、眼睛接触:立即翻开上下眼睑,立即用大量流动清水彻底冲洗至少15分钟。就医。

3、吸入:脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难时给输氧。呼吸停止时,立即进行人工呼吸。立即就医。

4、食入:误服者用水漱口,饮牛奶或蛋清,立即就医。

5、灭火方法:泡沫二氧化碳、干粉。