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产品展示--电子标准气体

product

电子标准气体

品名

浓度 (%)

平衡气体

压力(MPa)

容积(L)

阀门

硅烷混合气体

0.5-50

ArN2HeH2

5-12

4-47

可根据用户要求提供

磷烷混合气体

5ppm-23

ArN2HeH2

5-12

0.7-17

硼烷混合气体

5ppm-10

ArN2HeH2

5-10

4-17

砷烷混合气体

5ppm-5

ArN2HeH2

5-12

0.7-17

硒化氢混合

10ppm-5

ArN2HeH2

5-12

4-17

乙硅烷

5ppm-2

ArN2HeH2

≥5

0.7-17

锗烷

5ppm-0.5

ArN2HeH2

≥5

0.2-17


包装:1-40(升)瓶装,标准充装压力:9.5 MPa,组分和浓度范围可根据要求配制。