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产品展示--三氟化氮

product

三氟化氮


三氟化氮 NF3)

项目名称

纯度指标(%

三氟化氮

≥99.99

杂质含量(ppm)

氮气(N2

≤5

氧气+氩气(O2+Ar

≤3

二氧化碳(CO2

≤5

一氧化碳(CO)

≤1

四氟化碳(CF4)

≤40

水(H2O

≤1

六氟化硫(SF6

≤5

氟化氢(HF

≤1

氧化亚氮(N2O

≤5

 

包装:采用44L、47L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。 

 

用途:NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅的蚀刻,采用NF3和CF4+O2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染。

 

理化性质在常温常压下 , 三氟化氮为无色、无臭、性质稳定的液化气体,高纯三氟化氮几乎没有气味,它是一种热力学稳定的氧化剂,大约在 350 ℃左右可离解成为二氟化氮和氟气,故其反应性相似于氟。

 

注意事项:

1.在70℃以下NF3气体对普通金属是不腐蚀的,因此钢、铜、镍、铝和不锈钢在70℃以下均可用作包装材料。用钢瓶和铝合金瓶充装,对气瓶每两年要检验一次。按有毒高压液化气体规定运输,国外规定可以用汽车、火车运输,不能用飞机运输。气瓶充装系数不大于0.01。

2.储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、还原剂、食用化学品分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。